Intel/美光25nm工艺晶圆厂一日游
上周末，Intel、美光合资闪存制造企业IM Flash Technologies, LLC(IMFT)宣布已经开始试制25bn工艺NAND闪存芯片。除了纸面宣布外，他们实际上还邀请了多家媒体到IMFT位于美国犹他州Lehi的25nm工艺晶圆厂进行参观。http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S09595076.jpg
位于雪山脚下的IMFT工厂http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10000621.jpg
工厂结构，制造半导体产品最关键的无尘室位于第三层，加压吊顶形成由上向下的气流，设备维护工作则在二层的“SubFab”层完成。http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10004058.jpg
进入无尘室之前的“打包”过程。（由于无尘室内部的严格要求，实际上以下内部照片均来自IMFT官方）http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10005267.jpg晶圆厂内走廊，顶端的自动运输系统（AMHS）正在以每小时13公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输，24小时不停歇。每个运载器都搭载了一个FOUP（前端开口片盒），其中可装载最多25片300mm晶圆。
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厂内地面全部打孔，保证空气从上向下流通，将落尘可能减到最小。http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10012340.jpg
FOUP片盒挂接在一个制造阶段设备上，后面的那个正在被AMHS吊起。http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10015248.jpghttp://news.mydrivers.com/Img/20100204/10015251.jpg
几乎所有制造过程均为自动完成，因此厂内大部分工人的工作就是保证这些设备正常运行。
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化学机械抛光（CMP）车间http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10021546.jpg
照明受限的光刻车间http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10022933.jpg
一块光刻掩膜，光刻过程简单的说就是将这块掩膜上图案“缩印”到晶圆上。http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10024105.jpg
光刻过程中的“校准”http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10025177.jpg
实时缺陷监测（RDA）http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10030205.jpg
FOUP片盒中的300mm晶圆http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10031288.jpg
PCper记者手持一片25nm工艺300mm晶圆，总容量超过2TB。
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300mm晶圆http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10034216.jpg
每片闪存颗粒die容量为8GB（每格2GB），面积167平方毫米。http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10035137.jpg
Intel副总裁，NAND闪存业务总经理Tom Rampone手持25nm颗粒http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10040598.jpghttp://news.mydrivers.com/Img/20100204/10041507.jpg
尺寸对比http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10043024.jpg
从左到右分别是：
2003年130nm工艺128MB，2005年90nm工艺512MB，2007年50nm工艺1GB，2009年34nm工艺4GB以及现在的25nm工艺8GB闪存。最右侧是标准的TSOP闪存封装尺寸。
使用25nm工艺闪存，只需要单die芯片即可造出Class 10级SD卡。Intel计划，今年将基于该闪存造出最大600GB的固态硬盘，而美光甚至计划最大推出1TB SSD。
http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10494886.jpg 不错！长见识了！ 我也想去参观一下…… 最好能顺便送点什么小礼物啥的:a50: 好贴帮顶 嘿嘿~长见识了~ 确实黑霸道哦 :a46:中国和他们的技术差远了 最好能顺便送点什么小礼物啥的:a50:
pangares 发表于 2010-2-5 10:48 http://bbs.52hardware.com/images/common/back.gif
既然是镁光
礼物必须要是D9的灯条啊
:a175: 我也想去参观一下:a17:什么时候中国采用这样的工厂，现在中国不差钱关键是没有技术。
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