上周末,Intel、美光合资闪存制造企业IM Flash Technologies, LLC(IMFT)宣布已经开始试制25bn工艺NAND闪存芯片。除了纸面宣布外,他们实际上还邀请了多家媒体到IMFT位于美国犹他州Lehi的25nm工艺晶圆厂进行参观。
![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S09595076.jpg)
位于雪山脚下的IMFT工厂 ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10000621.jpg)
工厂结构,制造半导体产品最关键的无尘室位于第三层,加压吊顶形成由上向下的气流,设备维护工作则在二层的“SubFab”层完成。 ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10004058.jpg)
进入无尘室之前的“打包”过程。(由于无尘室内部的严格要求,实际上以下内部照片均来自IMFT官方) 晶圆厂内走廊,顶端的自动运输系统(AMHS)正在以每小时13公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输,24小时不停歇。每个运载器都搭载了一个FOUP(前端开口片盒),其中可装载最多25片300mm晶圆。
![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10010111.jpg)
厂内地面全部打孔,保证空气从上向下流通,将落尘可能减到最小。 ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10012340.jpg)
FOUP片盒挂接在一个制造阶段设备上,后面的那个正在被AMHS吊起。 ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10015251.jpg)
几乎所有制造过程均为自动完成,因此厂内大部分工人的工作就是保证这些设备正常运行。
![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10020427.jpg)
化学机械抛光(CMP)车间 ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10021546.jpg)
照明受限的光刻车间 ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10022933.jpg)
一块光刻掩膜,光刻过程简单的说就是将这块掩膜上图案“缩印”到晶圆上。 ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10024105.jpg)
光刻过程中的“校准” ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10025177.jpg)
实时缺陷监测(RDA) ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10030205.jpg)
FOUP片盒中的300mm晶圆 ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10031288.jpg)
PCper记者手持一片25nm工艺300mm晶圆,总容量超过2TB。
![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/S10032944.jpg)
300mm晶圆 ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10034216.jpg)
每片闪存颗粒die容量为8GB(每格2GB),面积167平方毫米。 ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10035137.jpg)
Intel副总裁,NAND闪存业务总经理Tom Rampone手持25nm颗粒 ![](http://news.mydrivers.com/Img/20100204/10041507.jpg)
尺寸对比
从左到右分别是:
2003年130nm工艺128MB,2005年90nm工艺512MB,2007年50nm工艺1GB,2009年34nm工艺4GB以及现在的25nm工艺8GB闪存。最右侧是标准的TSOP闪存封装尺寸。
使用25nm工艺闪存,只需要单die芯片即可造出Class 10级SD卡。Intel计划,今年将基于该闪存造出最大600GB的固态硬盘,而美光甚至计划最大推出1TB SSD。
|