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Intel/美光25nm工艺晶圆厂一日游

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论坛元老

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发表于 2010-2-5 09:42:34
上周末,Intel、美光合资闪存制造企业IM Flash Technologies, LLC(IMFT)宣布已经开始试制25bn工艺NAND闪存芯片。除了纸面宣布外,他们实际上还邀请了多家媒体到IMFT位于美国犹他州Lehi的25nm工艺晶圆厂进行参观。

位于雪山脚下的IMFT工厂

工厂结构,制造半导体产品最关键的无尘室位于第三层,加压吊顶形成由上向下的气流,设备维护工作则在二层的“SubFab”层完成。

进入无尘室之前的“打包”过程。(由于无尘室内部的严格要求,实际上以下内部照片均来自IMFT官方)
晶圆厂内走廊,顶端的自动运输系统(AMHS)正在以每小时13公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输,24小时不停歇。每个运载器都搭载了一个FOUP(前端开口片盒),其中可装载最多25片300mm晶圆。

厂内地面全部打孔,保证空气从上向下流通,将落尘可能减到最小。

FOUP片盒挂接在一个制造阶段设备上,后面的那个正在被AMHS吊起。

几乎所有制造过程均为自动完成,因此厂内大部分工人的工作就是保证这些设备正常运行。


化学机械抛光(CMP)车间

照明受限的光刻车间

一块光刻掩膜,光刻过程简单的说就是将这块掩膜上图案“缩印”到晶圆上。

光刻过程中的“校准”

实时缺陷监测(RDA)

FOUP片盒中的300mm晶圆

PCper记者手持一片25nm工艺300mm晶圆,总容量超过2TB。




300mm晶圆

每片闪存颗粒die容量为8GB(每格2GB),面积167平方毫米。

Intel副总裁,NAND闪存业务总经理Tom Rampone手持25nm颗粒

尺寸对比

从左到右分别是:

2003年130nm工艺128MB,2005年90nm工艺512MB,2007年50nm工艺1GB,2009年34nm工艺4GB以及现在的25nm工艺8GB闪存。最右侧是标准的TSOP闪存封装尺寸。
使用25nm工艺闪存,只需要单die芯片即可造出Class 10级SD卡。Intel计划,今年将基于该闪存造出最大600GB的固态硬盘,而美光甚至计划最大推出1TB SSD。
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发表于 2010-2-5 10:07:41
不错!长见识了!
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发表于 2010-2-5 10:48:14
我也想去参观一下……
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发表于 2010-2-5 10:48:46
最好能顺便送点什么小礼物啥的:a50:
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发表于 2010-2-5 12:29:57
好贴帮顶
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发表于 2010-2-5 18:32:22
嘿嘿~长见识了~
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发表于 2010-2-5 23:50:57
确实黑霸道哦
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发表于 2010-2-6 08:58:55
:a46:中国和他们的技术差远了
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发表于 2010-2-6 10:33:38
最好能顺便送点什么小礼物啥的:a50:
pangares 发表于 2010-2-5 10:48

既然是镁光
礼物必须要是D9的灯条啊
:a175:
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发表于 2010-2-6 12:09:07
我也想去参观一下:a17:什么时候中国采用这样的工厂,现在中国不差钱关键是没有技术。
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